Laitteiden kuvaus:
· Laitteiden esittely:
Ilmaise syövytyskammion läpi kulkevat kaasumolekyylit hajoavat ja ionisoivat plasman tuottamiseksi.
Ilmaise joitain plasman aktiivisista ryhmistä reagoivat kemiallisesti etsatun materiaalin pinnan kanssa;
Ilmaise ohuet kalvon etsauslaitteet pulssi/radiotaajuusvirtalähteen kautta plasman positiiviset ionit pommitetaan fyysisesti etsatun materiaalin pinnalle, jotta materiaalin pinta puhdistaa, muokata ja etsii fysiikan ja kemian yhdistämisellä.
· Laitteiden edut:
Ilmaise erittäin alhainen etsauslämpötila eri tilanteiden lämpötilavaatimusten täyttämiseksi voi välttää lämpöjännityksen ja substraatin muodonmuutokset;
Sylinterin molemmat puolet voivat nostaa ekspressio -ionilähdettä, helppo huolto;
Express -ohutkalvojen etsauslaitteet omaksuvat ionisäteen puhdistuslähteen ja ainutlaatuisen purkaustekniikan, korkean plasmatiheyden, etsauspuhdistusvaikutus on hyvä, hyvä yhtenäinen;
Express -hälytys ja suojaus: Kattava turvallisuussuojaus sisältää: Lämpötilan turvallisuussuojaus, ylikuormitussuojaus, oikosulkujen murtumishälytyssuojaus, erilaiset väärinkäytönsuojaustoiminnot.
Sovelluskenttä:
Express ETCABLE -materiaalit: Metalli, ei-metalli, seos, elektroniset komponentit (monokiteinen pii, amorfinen pii, polysilicon, SOI), metallioksidit, nitridit, karbidit, keramiikka, polymeerit, suprajohtavat materiaalit jne.
Express sitä voidaan käyttää kalvon häipymiskoneena DLC/TA-C-elokuviin.
Expressiä voidaan käyttää: 3C -kulutuselektroniikka, elektroniset komponentit, optiikat, kuljetus, työkalumuoti, kodinkoneet, uusi energia, lääketieteellinen, tutkimuslaitokset ja muut teollisuudenalat.
Ennen ionin syövyttämistä ionin syövytyksen jälkeen
Suositut Tagit: ohutkalvojen etsauslaitteet, Kiinan ohutkalvojen etsauslaitteiden valmistajat, toimittajat, tehdas
