Tekninen tuki

Tekninen tuki ja suunnittelupalvelut

Teknisen tuen yleiskatsaus

Maksimaalinen käyttöaika ja vakaa kalvopinnoituskyky ohjaavat teollisia tyhjiöpinnoituslinjoja. Suunnittelutukirakenteemme tarjoaa suoria tehdastason{1}}teknisiä toimia PVD- ja CVD-järjestelmien koko elinkaaren ajan. Alkuperäisestä mekaanisesta integroinnista jatkuvaan prosessien optimointiin kenttähuoltoinsinöörimme (FSE) ja tyhjiömetallurgimme tarjoavat suoran vianetsinnän, ennaltaehkäisevät huoltoaikataulut ja nopean -vastediagnosiikan, jota tukevat maailmanlaajuiset huoltokeskuksemme Pohjois-Amerikassa, Euroopassa ja Aasiassa.

Laitteiden asennus

Oikea mekaaninen ja sähköinen kohdistus estää tyhjiövuodot ja osajärjestelmän viat ennen pumpun -alkutoimia.

Sivuston valmistelun tarkastus:

Puhdastilojen teknisten tietojen, käyttökuormien (jäähdytysveden virtaus/paine, paineilma, korkean-virranjakelun ja poistoilmanvaihto) asennusta edeltävä tarkistus.

Mekaaninen takila ja kokoonpano:

Tyhjiökammioiden tarkka vaaitus, diffuusio-/turbomolekyylipumpun asennus ja raskaan-rungon kohdistus +/- 0.5 mm toleranssin sisällä.

Tyhjiön eheyden testaus:

Heliummassaspektrometrin vuototestaus suoritettiin kaikille kammion tiivisteille, laippoille ja massavirtauksen säätimen (MFC) linjoille peruspaineen kynnysarvon saavuttamiseksi alle 5 x 10^-4 Pa.

Operaattoreiden koulutus

Standardoitu toiminta minimoi inhimilliset virheet ja pidentää kulutusosien käyttöikää. Järjestämme jäsenneltyjä,-paikan päällä tai tiloihin- perustuvia koulutusmoduuleja tuotanto- ja huoltotiimillesi.

Järjestelmäarkkitehtuuri:

Sukella{0}}syvästi PLC-logiikkaan, SCADA-liitännän toimintaan, lukitusprotokolliin ja hätäpysäytysmenettelyihin.

Tyhjiön ja saostuksen perusteet:

Käytännön ohjeita rouhinta/korkea{0}}tyhjiöpumppujaksoista, kryopumpun regeneroinnista ja magnetronisputteroinnista tai lämpöhaihdutuksen hallinnasta.

Turvallisuusprotokollat:

Korkean -jännitteen turvallisuusvaatimukset, RF-generaattorin käsittely ja vaarallisten kaasujen hallinta (CVD-järjestelmille, joissa käytetään silaania, ammoniakkia jne.).

Tuotannon{0}}aloitustuki

Siirtyminen kylmäkäytöstä kaupalliseen tuotantoon vaatii tiukkaa prosessin validointia. Metallurgimme ja prosessiinsinöörimme pysyvät-työmaalla ensimmäisten tuotantoajojen ajan.

Reseptin kalibrointi:

Hienosäädä{0}}pinnoitusparametreja (kaasun virtaussuhteet, esijännite, tavoitetehotiheys, alustan lämpötila) kalvon tavoitepaksuuden, adheesion (naarmutesti / Rockwellin sisennys) ja kovuusvaatimusten mukaisesti.

Ensimmäinen-artikkelin tarkastus (FAI):

Pinnoitteen tasaisuuden varmistaminen poikki-FESEM- ja X--säteilyn heijastusanalyysin (XRR) avulla.

Sadon stabilointi:

Kolmen peräkkäisen tuotantoerän valvonta varmistaakseen parametrien toistettavuuden +/- 3 % prosessiikkunassa.

Tekninen etätuki

Kun mekaanisia tai ohjelmistovirheitä ilmenee, välitön diagnostinen telemetria vähentää tarpeettomia lähetysviiveitä.

Suojattu suora linkki:

Salattu VPN-etäkäyttö Siemens/Allen{0}}Bradley PLC:hen ja teollisuus-PC-ohjausarkkitehtuuriin reaaliaikaista-I/O-tilan valvontaa varten.

Diagnostinen vasteen SLA:

Suora suunnittelutriage 2 tunnin sisällä lipun lähettämisestä kriittisten tuotantoseisokkien varalta. Alueellisten suunnittelukeskuksemme tukevat 24/5.

Tietolokin analyysi:

-Syvä katsaus historiallisiin prosessilokiin, tyhjiöpumpun virrankulutuksiin ja kuristusventtiilien asennoihin perimmäisten syiden erottamiseksi.

Huolto & Vianetsintä

Ennakoivat huoltosuunnitelmat estävät katastrofaalisen komponenttien huonontumisen. Toimitamme strukturoidut huoltoprotokollat, jotka on kartoitettu käyttöaikoihin.

Ennaltaehkäisevä huolto (PM):

Aikataulutetut tarkistuslistat pyörivien siipien öljynvaihdoille, elastomeerien O-renkaiden vaihdolle, kammion suojuksen puhdistukselle (hiekapuhallus/kemiallinen syövytys) ja vesi-jäähdytyskanavan kalkinpoisto.

Yleisen vian eristäminen:

Korkean peruspaineen viat:Kaasunpoiston tunnistaminen verrattuna virtuaaliseen/todelliseen vuodon eristykseen jäännöskaasuanalysaattoreiden (RGA) avulla.

Kaaritapahtumat:Katodikohteen pinnan kuntoanalyysi ja magneettikentän säätö.

Varaosat ja vaihtotuki

Aidot, spesifikaatioiden mukaiset{0}}komponentit varmistavat mittojen yhteensopivuuden ja tyhjiön eheyden. Kriittiset kuluvat tuotteet varastoidaan alueellisesti nopeaa toimitusta varten.

Varaston ja lähetyksen palvelutasosopimus:

Yleiset kriittiset varaosat (kuten tasomaiset/pyörivät kohteet, keraamiset eristeet ja kuristusventtiilit) lähetetään alueellisista navoista 24 tunnin kuluessa tilauksen vahvistamisesta.

Materiaalin jäljitettävyys:

Kaikki metalliset kohteet ja rakennetiivisteet toimitetaan analyysisertifikaatilla (CoA), joka varmistaa puhtaustason (esim. 99,999 % puhtaus) ja metallurgisen raekoon.

Laitteiden päivitys ja optimointi

Pidennä omaisuuden käyttöikää ja päivitä käsittelykapasiteettia markkinastandardien kehittyessä.

Osajärjestelmän jälkiasennus:Edistyneiden pulssitoimisten DC-virtalähteiden, korkea{0}}tyhjiökryopumppujen tai päivitettyjen optisten valvontajärjestelmien (OES) integrointi vanhoihin PVD/CVD-kammioihin.

Automaatiopäivitykset:PLC-ohjelmiston modernisointi ja HMI-laitteiston vaihto vanhentuneiden ohjauskomponenttien poistamiseksi.

Tekninen dokumentaatio

Jokaisen järjestelmän mukana toimitetaan kattava suunnitteludokumentaatiopaketti sisäisten huoltotiimien tukemiseksi.
Mukana oleva dokumentaatio:

Täydelliset sähköjohdotuskaaviot ja P&ID (putki- ja instrumentointikaaviot).

PLC-lähdekoodi ja HMI-varmuuskopiotiedostot.

Toimittajakomponenttien käsikirjat (Edwards, Pfeiffer, Inficon, Siemens jne.).

Painemittareiden ja massavirtasäätimien kalibrointitodistukset.

Teknisen tuen UKK

K: Mikä on kriittisen etävianmäärityksen normaali vasteaika?

V: Suunnittelutiimimme vastaa kriittisiin tuotannon pysäytyslipukkeisiin etätelemetrialla 2 tunnin sisällä. Paikan päällä oleva fyysinen lähetys alueellisista palvelukeskuksistamme suoritetaan yleensä 48–72 tunnin sisällä sijainnista ja viisumilogistiikasta riippuen.

K: Kuinka nopeasti varaosat toimitetaan?

V: Alueellisissa keskuksissamme varastossa olevat vakiovaraosat käsitellään ja lähetetään 24 tunnin kuluessa laitteiden seisokkien minimoimiseksi.

K: Kuinka pyydämme tukea mukautetuille CVD/PVD-laitteille?

V: Lähetä tukipyyntö portaalimme kautta, jossa on järjestelmän sarjanumero, virhelokitiedostot, tyhjiömittarin lukemat ja yksityiskohtainen kuvaus toimintahäiriöstä.