Tuotteen yleiskatsaus
Teolliset monikaari-ionipinnoituslaitteet, jotka on suunniteltu kovien pinnoitteiden, toiminnallisten kalvojen ja koristeellisten PVD-pintojen levittämiseen tarkkuuskomponentteihin. Järjestelmä höyrystää suoraan kiinteät kohdemateriaalit (Ti, Cr, Al, Zr) käyttämällä korkean{2}}virtaa, matalajännitteistä-tyhjiökaaripurkausta. Yhdistettynä reaktiivisten kaasujen (N2, O2, C2H2) kanssa se syntetisoi tiheitä siirtymämetallinitridejä, karbideja ja oksideja suoraan metallisubstraateille.
Tämä modulaariseen tyhjiökammio-arkkitehtuuriin rakennettu avaimet käteen -periaatteella toimiva PVD-ratkaisu soveltuu erilaisiin tuotantomääriin-T&K-eräkäsittelystä automatisoituun, tehokkaaseen{1}}inline-tuotantoon. Järjestelmä on optimoitu korkeaa tavoitekäyttöä ja alhaisia kokonaiskustannuksia (TCO) varten jatkuvassa 24/7 teollisuusympäristössä.
Tekniset tiedot
|
Parametri |
Specification Range |
Yksikkö / Huom |
|
Kammion mitat |
Ф600 x 600 - Ф1500 x 1800 |
mm (muokatut pysty- tai vaakakokoonpanot) |
|
Äärimmäinen tyhjiöpaine |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (kuivapumppu + turbo-molekyyli/öljydiffuusiosarja) |
|
Katodikaaren lähteet |
4-16 yksikköä |
Sähkömagneettiset ohjatut tai suodatetut kaarilähteet (FCA) |
|
Substraatin bias-teho |
0 - -1000 |
V (Advanced Pulsed DC / MF bias -ominaisuudet) |
|
Lämmityslämpötila |
Huoneen lämpötila 600 asteeseen |
C (PID-ohjatut säteilylämmittimet) |
|
Laskeuma yhtenäisyys |
<= +/- 5% |
Mitattu XRF:llä tehokkaalta työalueelta |
|
Ohjausjärjestelmä |
PLC + teollisuustietokone |
Automaattinen reseptien suoritus, SCADA-tietojen kirjaus |
|
Turvallisuus ja vaatimustenmukaisuus |
CE, ISO 9001 |
UL--yhteensopivia sähkökoteloita saatavilla pyynnöstä |
Fyysinen höyrypinnoitusjärjestys toimii tiukassa, suljetussa{0}}silmukassa automatisoidussa työnkulussa, jotta varmistetaan erän-to{2}}toistettavuus:
Evakuointi ja kaasunpoisto:
Tyhjiökammio pumpataan alas peruspaineeseen<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Plasmaetsaus (pommitus):
Argonkaasua tuodaan. Substraatin pidikkeeseen kohdistetaan suuri negatiivinen esijännite, joka tuottaa Ar-ioneja, jotka pommittavat pintaa ruiskuttaakseen pois luonnollisia oksideja ja mikro{1}}kontaminantteja.
Kaaren haihdutus ja ionisaatio:
DC-kaarivirta iskee kiinteään metallikatodiin. Paikallinen katodipiste saavuttaa äärimmäisen energiatiheyden ja höyrystää kohdemateriaalin välittömästi suuren -tiheyden plasmavirtaan (ionisaationopeus > 80 %).
Reaktiivinen kerrostuminen:
Reaktiivisia kaasuja ruiskutetaan plasmavirtaukseen tarkasti säädetyillä osapaineilla massavirtaussäätimien (MFC) kautta, jolloin muodostuu stoikiometrisiä yhdistekalvoja pyöriville substraateille.
Jäähdytys ja tuuletus:
Hallittu jäähdytys tapahtuu inertin kaasun suojauksessa ennen kammion tuuletusta, mikä estää juuri pinnoitettujen osien hapettumisen.
Kalvomateriaalit ja pinnoitteen ominaisuudet
Järjestelmä tukee moni{0}}metallikatodijärjestelyjä, jotka mahdollistavat yksikerroksiset, monikerroksiset, nano-komposiitti- ja gradienttikalvoarkkitehtuurit:
TiN (titaaninitridi):
Normaali kultainen pinnoite; kovuus 2200–2400 HV; kitkakerroin 0,4. Ensisijainen käyttötarkoitus: yleiset leikkuutyökalut ja mekaaniset kulutusosat.
TiAlN (titaanialumiininitridi):
Korkean -lämpötilojen hapettumiskestävyys jopa 850 C; kovuus 3000-3300 HV. Ensisijainen käyttötarkoitus: nopeat{5}}kuivatyöstöterät ja moottorin venttiilit.
CrN / CrAlN (krominitridi):
Erinomainen korroosionkestävyys ja alhainen sisäinen jännitys; ei-rautametallien tarttumista estäviä-ominaisuuksia-. Ensisijainen käyttötarkoitus: muotit, männänrenkaat ja tekstiilikoneiden komponentit.
ZrN / TiCN:
Matala pinnan karheus (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Sovellukset
Tarkkuusleikkaustyökalut:
Päätyjyrsimet, porat, keittolevyt ja kääntöterät, jotka vaativat pidennetyn työkalun käyttöiän korkeissa lämpökuormissa.
01
Auton voimansiirto:
Männän tapit, hanat, polttoaineen ruiskutuskomponentit ja vaihteistopinnat, jotka vaativat rajakitkaa ja kulumiskestävyyttä.
02
Muotit ja suuttimet:
Muoviset ruiskumuotit, meistomuotit ja paine{0}}valupalat, jotka vaativat liiman kulumista ja lämpöväsymistä.
03
Ilmailu-avaruuskomponentit:
Turbiinien siivet ja titaanikiinnikkeet, jotka toimivat aggressiivisissa syövyttävissä ja korkeassa{0}}rasitusympäristöissä.
04
Räätälöinti ja järjestelmän konfigurointi
Vakioluettelotuotteet sopivat harvoin täydellisesti tehdasasetteluihin. Laitekokoonpanot räätälöidään tietyn komponenttigeometrian, syklin aikatavoitteiden ja laitosrajoitusten perusteella:
Kammion geometria:
Kahdeksankulmaiset tai sylinterimäiset ruostumattomasta teräksestä valmistetut kammiot (SUS304/SUS316L), joissa on kaksi-seinämäiset-vesijäähdytysvaipat.
Lähteen asettelu:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Alustan kiinnitys:
Planeettakierto (3-akseli) tai yksikiertoiset mekanismit, joita ohjaavat magneettiset nesteen läpiviennit, jotka takaavat tasaisen pinnoitteen peiton monimutkaisissa 3D-geometrioissa.
Pumppauspiippuvaihtoehdot:
Juuripuhaltimet, pyörivät siipipumput, kryogeeniset pumput tai turbomolekyylipumput, jotka on konfiguroitu täyttämään tiukat pumpun{0}}alennusajat.
Laadunvalvonta- ja testausprotokollat
Jokaiselle koneelle tehdään tiukka Factory Acceptance Test (FAT) -testaus ennen lähettämistä, dokumentoitu ostajan tarkastettavaksi:
01
Tyhjiön eheystesti:
Heliumvuodon havaitseminen massaspektrometrialla (vuotonopeus<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Sähköturvallisuus ja palo{0}}:
72 tunnin jatkuva kuivakäynti virtalähteillä, vesijäähdytyksen lukitsimilla ja PLC-automaatiologiikalla.
03
Pinnoitteen varmistus (sisäinen{0}}laboratorio):
Näyteajot testattiin Calo{0}}-testillä (kalvon paksuus), Rockwellin painalluksella (adheesiolujuus) ja nanoindentaatiolla (kovuus).
Asennus, käyttöönotto ja tekninen tuki
Sivuston valmisteluohjeet:
Yksityiskohtaiset käyttöliittymäpiirustukset jäähdytysveden virtaus/paine, paineilma, poistoilmanvaihto ja sähkökiskovaatimukset.
SAT ja käyttöönotto:
Asennus paikan päällä (Site Acceptance Testing), tyhjiökalibrointi ja perusreseptin vaihto, jonka suorittavat vanhempi PVD-prosessiinsinööri.
Prosessikoulutus:
Käytännön-käyttäjäkoulutus, joka kattaa katodin vaihtoaikataulut, ennaltaehkäisevän tyhjiön huollon, vianetsinnän ja perusreseptien optimoinnin.
Varaosien tuki:
Kriittiset kuluvat komponentit (katodit, suojukset, eristeet ja tiivisteet) varastossa maailmanlaajuista toimitusta varten 48 tunnin sisällä.
Usein kysytyt kysymykset
Meidät tunnetaan yhtenä johtavista moni-kaariioni ohutkalvolaitteiden valmistajista ja toimittajista Kiinassa. Jos aiot ostaa räätälöityjä moni-kaari-ioni-ohutkalvolaitteita, jotka on valmistettu Kiinassa, voit tilata hinnaston tehtaaltamme. Hintaneuvontaa varten ota yhteyttä.
