Tuotteen yleiskatsaus
Tämä elektronisuihkuhöyrystysohutkalvolaitteisto on suunniteltu korkean{0}}tarkkuuden fysikaaliseen höyrypinnoitukseen (PVD). Hyödyntämällä kohdistettua korkean{2}}energistä elektronisädettä lähdemateriaalien pommittamiseen, järjestelmä saavuttaa korkean haihtumisnopeuden korkean-sulamispisteen-metallien, oksidien ja dielektristen materiaalien osalta.
Modulaariseen tyhjiöarkkitehtuuriin rakennettu järjestelmä sisältää moni-taskuelektronipistoolit, mukautettavat substraattikiinnikkeet ja edistyneen paikan päällä tapahtuvan valvonnan. Se palvelee T&K-laboratorioita ja suuritehoisia-tuotantolinjoja, jotka vaativat tiukkaa kalvon stoikiometrian, adheesion ja optisen suorituskyvyn valvontaa.
-
![Elektronisuihkuhaihdutuslaitteet suurtyhjiöstä]()
Elektronisuihkuhaihdutuslaitteet suurtyhjiöstäEBE{0}}Series High Vacuum Electron Beam Haihdutusjärjestelmä tallentaa erittäin-puhtaita ohuita kalvoja optisiin, puolijohde- ja metallurgisiin sovelluksiin. Ohjaamalla magneettisesti fokusoidun...Katso lisää -
![Elektronisuihkuohutkalvopinnoitusjärjestelmä]()
ElektronisuihkuohutkalvopinnoitusjärjestelmäElectron Beam Thin Film Deposition System tarjoaa suunnatun, korkean{0}}puhtauden PVD-käsittelyn edistyneeseen tutkimukseen ja teolliseen tuotantoon. Hyödyntämällä fokusoitua, magneettisesti...Katso lisää -
![Elektronisuihkutyhjiöhaihdutuslaitteet]()
ElektronisuihkutyhjiöhaihdutuslaitteetTämä elektronisuihkutyhjiöhaihdutusjärjestelmä suorittaa korkean -sulamispisteen-metallien, oksidien ja eristeiden fysikaalisen höyrypinnoituksen (PVD). Ohjaamalla fokusoidun elektronisuihkun...Katso lisää -
![Elektronisuihkuohutkalvopinnoituslaitteet]()
ElektronisuihkuohutkalvopinnoituslaitteetTässä teollisessa elektronisuihkupinnoitusjärjestelmässä käytetään magneettisesti fokusoituja elektronitykkejä (3 kW - 15 kW) korkean-tiheyden energiavirtojen ohjaamiseen vesijäähdytettyihin...Katso lisää -
![Elektronisuihkuhaihdutusohutkalvojärjestelmä]()
ElektronisuihkuhaihdutusohutkalvojärjestelmäEBE--sarjan elektronisuihkuhaihdutusjärjestelmä on suunniteltu korkean-sulamispisteen-metallien, eristeiden ja optisten materiaalien fysikaaliseen höyrypinnoitukseen (PVD). Käyttämällä...Katso lisää -
![Elektronisuihkuhaihdutusohutkalvolaitteet]()
ElektronisuihkuhaihdutusohutkalvolaitteetEBE{0}}V600-sarja on teollisuus-mittakaavassa fyysinen höyrypinnoitus (PVD) -alusta, joka on suunniteltu optisten komponenttien, puolijohdelaitteiden ja edistyksellisten materiaalien tarkkaan...Katso lisää
Tekniset tiedot
|
Parametri |
Specification Range |
Huomautuksia / Vakiokokoonpano |
|
Lopullinen peruspaine |
< 5.0 × 10^-6 Pa |
Saavutetaan kryogeenisten tai turbo{0}}molekyylien pumppausryhmien avulla |
|
Kammion mitat |
Räätälöity (sisähalkaisija 500–1200 mm) |
304L / 316L ruostumaton teräs, elektro-kiillotettu |
|
E-Aseen teholuokitus |
6 kW - 15 kW (moni-taskupyyhkäisygeneraattorit) |
Ohjelmoitava säteen poikkeutus ja moni{0}}upokkaan indeksointi |
|
Laskeumaaste |
0,1 nm/s - 10 nm/s |
Reaaliaikainen-suljetun-silmukan ohjaus kvartsikidenäytön kautta |
|
Kalvon paksuuden tasaisuus |
< ±1% to ±2% across standard substrates |
Planetaarinen tai kupupohjainen kiinnike, jossa on säädettävä pyörimisnopeus |
|
Alustan lämpötila |
Ympäristön lämpötila 800 astetta |
Integroitu säteilylämmitys PID-lämpöpalautuksella |
Laitteen tärkeimmät ominaisuudet
Korkean{0}}vakauden elektroniase:
Siinä on magneettinen poikkeutus ja monipistetarkennus, joka estää lähdemateriaalien paikallisen ylikuumenemisen ja estää sylkemisen reaktiivisen haihdutuksen aikana.
Modulaarinen upokkaan rakenne:
Varustettu 4–6-taskulla indeksoitavilla tulisijoilla, jotka mahdollistavat monikerroksisen pinnoituksen tyhjiötä rikkomatta.
Edistynyt tyhjiölukitus:
PLC{0}}ohjatut pneumaattiset venttiilit, automaattinen rouhinta/korkea{1}}tyhjiöjärjestys ja lukitukset suojaavat jäähdytysvesihäiriöiltä ja virransyöttöhäiriöiltä.
Matala-kontaminaatiokammio:
Sisäisessä suojauksessa käytetään sähkö{0}}kiillotettua ruostumatonta terästä ja irrotettavat vuoraukset hiukkasten nopeaan vähentämiseen ja huollon suorittamiseen.
Kalvomateriaalit ja substraatit
Yhteensopivat haihdutusmateriaalit
Metallit: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Eristeet ja oksidit: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO
Substraattityypit
Piikiekot (2-12 tuumaa)
Optinen lasi, sulatettu piidioksidi ja kvartsisubstraatit
Taipuisat polymeerikalvot (polyimidi, PET telasta{0}}rullaan{1}}moduulien kautta)
Keraamiset alustat (Al2O3, AlN)
Sovellukset
Optiset pinnoitteet:
Heijastamattomat (AR) pinnoitteet, kapeakaistaiset-suodattimet ja korkean-heijastavuuden peilit laser- ja fotoniikkajärjestelmiin.
Puolijohdelaitteet:
Ohminen kontaktin muodostus, portin metallointi ja nosto{0}}prosessointi mikroelektroniikassa.
Optoelektroniikka:
Läpinäkyvät johtavat oksidikerrokset (TCO) ja ohuet kalvot OLED-näytöille ja aurinkokennoille.
Kehittynyt T&K:
Tutkivat ohut-kalvomagneettikerrokset, suprajohtavat kalvot ja monikerroksiset heterorakenteet.
Räätälöinti ja järjestelmän konfigurointi
Jokainen ohut{0}}kalvojärjestelmä on määritetty vastaamaan tiettyjä prosessireseptejä ja laitosasetteluja. Saatavilla olevia teknisiä mukautuksia ovat:
Pumppauspinon valinta:
Turbo-molekyylipumput (TMP), kryopumput tai öljy-diffuusiokokoonpanot, jotka on räätälöity perustyhjiö- ja suoritustehovaatimuksiin.
Lataa{0}}Lukon integrointi:
Manuaalinen lataus-lukko tai automatisoidut moni-kammioklusterijärjestelmät säilyttävät erittäin-korkean tyhjiön eheyden ja lisäävät kiekkojen suorituskykyä.
In-Situ Metrologia:
Integrointiportit spektroskooppisille ellipsometreille, optisille monitoreille tai jäännöskaasuanalysaattoreille (RGA).
Ohjausohjelmisto:
Patentoitu PLC/HMI-liitäntä, jossa on reseptien tallennus, tiedonkeruu ja SECS/GEM-tiedonsiirtoprotokollat älykkääseen tehdasintegraatioon.
Valmistus ja laadunvalvonta
Aluksen valmistus:
Kaikille tyhjökammioille suoritetaan heliummassaspektrometrin vuototesti hylkäyskynnyksellä < 1 × 10^-9 Pa·m³/s.
Hitsauksen eheys:
TIG-hitsaus suoritettu inerttikaasusuojauksella, jota seuraa sisäpinnan passivointi ja mekaaninen kiillotus kaasun muodostumisen vähentämiseksi.
Tehdashyväksyntätestaus (FAT):
72-tunnin jatkuva kuivaajo-testi, joka mittaa pumppauskäyrät, sähköpistoolin pyyhkäisyn tarkkuuden, lukituksen vasteajat ja lämpöstabiilisuuden ennen laatikkoa.
Vaatimustenmukaisuus ja standardit:
Valmistettu ISO 9001 -sertifioidun laadunhallintajärjestelmän mukaisesti, ja järjestelmät on suunniteltu täyttämään CE-direktiivit ja asiaankuuluvat SEMI (S2/S8) -turvallisuus- ja ergonomiaohjeet.
FAQ
Meidät tunnetaan{0}}yhdeksi johtavista elektronisuihkuhöyrystysohutkalvolaitteiden valmistajista ja toimittajista Kiinassa. Jos aiot ostaa Kiinassa valmistettuja räätälöityjä elektronisuihkuhöyrystysohutkalvolaitteita, tervetuloa saamaan hinnaston tehtaalta. Hintaneuvontaa varten ota yhteyttä.
