EBE{0}}V600-sarja on teollisuus-mittakaavassa fyysinen höyrypinnoitus (PVD) -alusta, joka on suunniteltu optisten komponenttien, puolijohdelaitteiden ja edistyksellisten materiaalien tarkkaan ohut-kalvopinnoitukseen. Ohjaamalla korkean -energisen, magneettisesti fokusoidun elektronisuihkun vesijäähdytteisten upokkaiden sisällä oleviin lähdemateriaaleihin, järjestelmä saavuttaa nopeat haihtumisnopeudet ja pitää lämpökuormat erillään kammion seinistä.
Arkkitehtuuri sisältää moni-taskuelektronilähteitä ja kaksoiskvartsikidemikrotasapainoantureita (QCM), jotka varmistavat stoikiometrisen kalvon tarkkuuden ja tasaisen paksuuden hallinnan monikerroksisissa dielektrisissa tai metallipinoissa.
Tekniset tiedot
|
Tekninen parametri |
Specification Value |
|
Kammion geometria ja materiaali |
Φ600 mm x 600 mm sylinterimäinen astia; SS304 sähkökiillotettu sisäpuoli ulkoisilla jäähdytysvesivaipoilla |
|
Lopullinen peruspaine |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping) |
|
Pumppaus{0}}alas |
<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa) |
|
Electron Gun Power |
6 kW - 12 kW monitaskukokoonpano 270 asteen säteen taipumalla |
|
Upokkaan tulipesän kapasiteetti |
4 - 6 taskua (vaihdettava kupari/grafiitti upokkaat, 15cc - 40cc tilavuus per tasku) |
|
Alustan vaiheen kierto |
0 - 30 rpm muuttuvanopeus planeetta- tai suorakäyttö |
|
Alustan lämmitysalue |
Ympäristö 600 astetta PID-suljetun-silmukan halogeenilamppujärjestelmän kautta |
|
Paksuuden seuranta |
Kaksi QCM-anturia automaattisella sulkimen takaisinkytkennän ohjauksella |
Tärkeimmät ominaisuudet
270 asteen magneettinen taipuma E{1}}Ase:Eristää volframifilamentin suorista höyryreiteistä, estää oikosulkuja-ja pidentää käyttöikää huoltovälien välillä.
Digitaalinen pyyhkäisyohjaus:Ohjelmoitavat rasterikuviot jakavat elektronienergian tasaisesti haihdutuspinnan poikki, mikä vähentää neulanreikien muodostumista ja ensisijaisesti haihtumista lejeeringin saostuksen aikana.
Irrotettu tyhjiöarkkitehtuuri:Rouhinta- ja korkea{0}}tyhjiöpumppulinjat on rakenteellisesti eristetty pääkammion rungosta mekaanisen tärinän siirron estämiseksi kalvon kasvun aikana.
Laitteiston lukitusturvamatriisi:Reaaliaikainen PLC-valvonta jäähdytysvesivirtauksesta, korkean-jännitteen palautteen, pneumaattisen paineen ja oven tiivisteen eheydestä.
Tyhjiöjärjestelmän konfigurointi
Tyhjiö{0}}alipiiri on suunniteltu nopeaa kiertoa ja alhaista peruspainetta varten minimoimaan jäännöskaasun (H2O, O2, N2) sisällyttäminen kasvaviin kalvoihin:
Korkea{0}}tyhjiöpumppu:1200 l/s turbo-molekyylipumppu, jota tukee kaksi-vaiheinen pyörivä siipipumppu (tai kuivarullapumppukokoonpano puhdastilojen yhteensopivuuden varmistamiseksi).
Eristysventtiili:Pneumaattisesti toimiva korkean{0}}johtavuuden sulkuventtiili, joka eristää kammion kuormituksen aikana.
Tyhjiömittaus:Yhdistetyt Pirani- ja Cold Cathode -ionisaatiomittarit, jotka kattavat jatkuvan alueen ilmakehästä 10^-6 Pa:iin.
Kalvomateriaalit ja substraatit
Yhteensopivat haihdutuslähteet
Oksidit ja eristeet:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Puhtaat metallit:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Ni
Puolijohteet ja johteet:Si, Ge, ITO (indiumtinaoksidi)
Sovellukset
Optiset häiriösuodattimet:Korkean-indeksin ja matalan-indeksin moni-kerrospinopinnoitus kapea-kaistanpäästösuodattimille ja laserpeileille.
Puolijohdelaitteiden valmistus:Ohminen kontaktin muodostus, hilaoksidipinnoitus ja metalliset siemenkerrokset.
OLED- ja näyttötutkimus:Ohutmetallikatodipinnoitus ja monikerroksinen orgaaninen/epäorgaaninen passivo{0}}testit.
Kovat tulenkestävät pinnoitteet:Suojaavat kulumista{0}}kestävät kerrokset mekaanisille ja ilmailukomponenteille.
Räätälöinti
Kammion laajennus:Laajennetut astiankorkeudet tai suorakaiteen muotoiset geometriat, jotka on räätälöity klusterityökalujen integrointiin.
Lähteen integrointi:Samanaikaiset lämpöhaihdutuslähteet (resistiiviset veneet) yhdistettynä elektronisuihkutykeihin.
Ioni-avusteinen kerrostus (IAD):Pääte{0}}Hall- tai Kaufman-ionilähteen integrointi kalvon tiivistämiseen ja jännityksen säätämiseen.
Ohjelmistoarkkitehtuuri:PLC/HMI-reseptiohjelmointi on yhteensopiva Siemens S7- tai Beckhoff-automaatiokehysten kanssa.
Laadunvalvonta
Massaspektrometrin heliumvuototestaus:Jokainen kammiohitsaus testataan hylkäyskynnykseen < 1 x 10^-9 Pa·m3/s ennen integrointia.
Sähköyhteensopivuus:Korkean{0}}jännitteen dielektriset kestotestit ja maadoituksen jatkuvuuden tarkastus CE/UL-ohjeiden mukaisesti.
Tehdashyväksyntätestaus (FAT):72-tunnin jatkuva kuivaajo-testi, jossa kirjataan peruspainekäyrät, sähköisen säteen pyyhkäisyn toistettavuus ja lukitusvasteajat. Testidokumentaatio toimitetaan laitteen mukana.
Asennus ja tekninen tuki
Työpaikan käyttöönotto:Tehtaan-sertifioidut insinöörit hoitavat mekaanisen kohdistuksen, tyhjiövuodon todentamisen, sähköliitäntöjen valvonnan ja alkukalibrointiajot.
Tekninen koulutus:3-päivän paikan päällä tapahtuva käyttö- ja huoltoprotokollakoulutus, joka kattaa hehkulangan vaihdon, tyhjiöventtiilin uudelleenrakentamisen ja reseptien muokkaamisen.
Toimitettavat asiakirjat:Täydelliset tekniset kansiot, mukaan lukien P&ID-kaaviot, sähkökytkentäkaaviot, PLC-varmuuskopiotiedostot ja varaosien erittely.
Usein kysytyt kysymykset
K: Mikä on e-ase-volframilangan käyttöikä ja miten se huolletaan?
V: Normaalissa työpaineessa (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.
K: Kuinka järjestelmä estää sylkemisen oksidisaostuksen aikana?
V: Digitaalinen pyyhkäisygeneraattori jakaa elektronienergian lasketun rasterimatriisin poikki oksidipelletissä. Tämä eliminoi paikallisen ylikuumenemisen, estää räjähtävän kiehumisen ja estää mikro{1}}pisaroiden sinkoutumisen.
K: Mitkä hyötyinfrastruktuurit ovat pakollisia asennuspaikalla?
A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 L/min, lämpötila 18 - 25 astetta .
Sähköverkko: 3-vaiheinen, 380 V ± 10 %, 50/60 Hz (tai tehdaskonfiguroitu alueellisten standardien mukaan).
Paineilma: 0,5 MPa - 0,7 MPa kuiva ilma pneumaattisille venttiilitoimilaitteille.
K: Onko diagnostiikan etäkäyttö integroitu ohjausjärjestelmään?
V: Kyllä. Eristetty Ethernet-portti tukee suojattua VPN-yhteyttä PLC-lokin etähakuun ja ohjelmiston vianmääritykseen suunnittelutiimimme toimesta.
Suositut Tagit: elektronisuihkuhöyrystysohutkalvolaitteet, Kiina elektronisuihkuhöyrystysohutkalvolaitteiden valmistajat, toimittajat, tehdas
