Valokaarihaihdutuspinnoituslaitteet

Teollinen fyysinen höyrypinnoitus (PVD) -alusta, joka on suunniteltu nopeaan-synteesiin tiiviille, kulumista-kestäville ja toimiville koville pinnoitteille. Korkean-virran, matalajännitteisen-katodisen kaaripurkauksen ylläpitäminen kiinteillä kohdepinnoilla tuottaa 80 % - lähes 100 % ionisoituneen plasmavirran.

Yhdessä ohjelmoitavan negatiivisen substraatin esijännityksen kanssa tämä korkea kineettinen energia ajaa atomi{0}}mittakaavan rajapintojen sekoittumista, mikä tuottaa erinomaisen kalvon tarttuvuuden ja nolla pylväshuokoisuuden. Kammioarkkitehtuuri tukee modulaarisia moni-katodikonfiguraatioita yksi-kerros-, monikerroksisten nano-laminaattien ja stoikiometristen gradienttipinnoitteiden (TiN, TiAlN, CrN, TiCN) automaattista pinnoitusta varten.

Korkea ionisaationopeus:Suora katodinen höyrystys muuntaa metallivuon suuren-tiheyden ioneiksi, mikä edistää tiiviitä raerakenteita ilman mikro{1}}tyhjiöitä.

Aktiivinen magneettiohjaus:Ohjelmoitavat sähkömagneettiset käämit pyyhkäisevät kaaren pisteen kohdepintojen poikki, estävät paikallisen kraatterin muodostumisen ja nostavat kohdemateriaalin käytön yli 60 %:iin.

Dynaaminen kaasunsäätö:Suljetun-silmukan massavirtausohjaimet (MFC:t) säätelevät reaktiivista kaasun ruiskutusta (N2, O2, C2H2) reaaliaikaisella-osittaispainepalautuksella.

Monen-lähteen synergia:Kammion seinät sopivat hybridikohdeasetteluihin, mikä mahdollistaa monikomponenttisten keraamisten kerrosten keskeytymättömän peräkkäisen kerrostamisen yhdessä tyhjiösyklissä.

Roughing & Roots -ryhmä:Suora{0}}käyttöinen pyörivä siipipumppu yhdistettynä suuri-tilavuuksiseen Roots-puhaltimeen, joka käsittelee suuria kaasukuormia reaktiivisen käsittelyn aikana.

Korkea tyhjiövaihe:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s) kytketty korkean -johtavuuden pneumaattisen sulkuventtiilin kautta.

Tyhjiöinstrumentointi:Lukitun Pirani- ja Cold Cathode -kaksois{0}}mittarin kokonaispaineen valvonta vaihtelee ilmakehästä 10^-6 Pa:iin.

Vuodon eheys:Elastomeeri{0}}tiivistetyt laipat, joissa on vesi-vaipallinen jäähdytys, pitävät järjestelmän vuotonopeudet alle 1,0 x 10^-9 Pa*m3/s.

Katodikohdemateriaalit
Siirtymämetallit ja lejeeringit:Titaani (Ti), kromi (Cr), zirkonium (Zr), alumiini (Al), titaani-alumiini (TiAl 50/50, 33/67), volframi (W).

Ei--metallit:Korkean-puhtauden grafiitti (C) Diamond-Like Carbon (DLC)- ja karbidikerroksille.

Teolliset alustat
Työkaluteräkset ja kovametallit:High Speed ​​Steel (HSS), sementoidut karbidit (WC-Co).

Rakenteelliset seokset:Austeniittiset/martensiittiset ruostumattomat teräkset, titaaniseokset (TC4), nikkeli{1}}pohjaiset superseokset (Inconel).

Tarkkuusleikkaustyökalut:TiAlN:n ja AlTiN:n kerrostaminen porakoneille, päätyjyrsimille ja hammaspyörälevyille nostaakseen pinnan kovuuden 3300-3500 HV:iin ja nostaakseen lämpöhapetuksen kestävyyttä jopa 800 asteeseen.

Autotekniikka:Matala-kitka, kulutusta-kestävät pinnoitteet polttoaineen ruiskutuskomponenteissa, männänrenkaissa ja nostimissa.

Muotit ja meistit:Krominitridin (CrN) kerrostaminen muoviruiskumuotteihin estämään liiman kulumista, mikro{0}}hitsausta ja hartsin tarttumista.

Kammion koko:Geometriset muutokset, jotka on räätälöity ylisuuria arkkitehtonisia paneeleja tai tehokkaita{0}}pieniä työkalukaruselleja varten.

Lähde Hybridisaatio:Katodisten kaarilähteiden integrointi epäsymmetrisen magnetronin (UBM) sputterointiin tai HiPIMS-katodeihin yhtenäiseen runkoon.

Automaatioliitännät:Tehdas MES-integraatio OPC{0}}UA-protokollien kautta sekä automaattiset latausluukut.

Heliumvuodon tarkistus:Massaspektrometrin vuototarkistus suoritettu kaikille hitsauksille ja tyhjiötiivisteille.

Sähköturvallisuustarkastus:Hipot-eristystestaus, maadoituksen jatkuvuuden tarkistukset ja E{0}}pysäytyspiirin silmukan tarkastus.

72-Tunnin palamistesti:Jatkuva{0}}mekaanisten pyörimislaitteiden, veden virtauskytkinten ja PLC-venttiilijaksojen kuivakäynti ennen purkamista.

Tehdashyväksyntätestaus (FAT):Suoritettu{0}}sivustolla kalibrointikuponkien perustyhjiön tasojen, valokaaren sytytyksen vakauden ja perusviivan paksuuden jakauman vahvistamiseksi.

Tilavaatimusten luovutus:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 astetta ), pakokaasujen poisto ja virransyöttö putoaa (3-vaiheinen, 380V/480V).

Kenttäkäyttöönotto:Paikan päällä-mekaanisten ja sähköalan insinöörien suorittama valvonta, joka kattaa kohdistuksen, kytkennän ja koeerät.

Kuljettajan koulutus:Strukturoidut ohjeet ohjelmistoreseptien konfiguroinnista, katodikohteen vaihtomenettelyistä ja ennaltaehkäisevasta tyhjiön kunnossapidosta.

Etädiagnostiikka:Ohjauspaneeliin upotettu suojattu teollisuus-VPN-yhdyskäytävä ohjelmiston telemetriaa ja vianetsintätukea varten.