IBAE-järjestelmä yhdistää elektronisäteen{0}}tai lämpöhaihdutuksen integroidun leveän-säteen ionilähteeseen. Samanaikainen ionipommitus kalvon kasvun aikana siirtää kineettistä energiaa tiivistyviin adatomeihin, eliminoi pylväsmäiset mikrorakenteet ja tuottaa lähes -bulkkitiheyksisiä-ohutkalvoja minimaalisella kosteuden-indusoidulla spektrisiirrolla.
Tekniset tiedot
|
Parametri |
Erittely |
|
Peruspaine |
<= 5.0 x 10^(-5) Pa (achieved within 35 minutes) |
|
Työpaine |
1,0 x 10^(-1) - 1,0 x 10^(-2) Pa |
|
Ionilähteen tyyppi |
Ristikoton pää-Hall / Kaufmann-ionilähde |
|
Ionisäteen energia |
50 eV - 1500 eV (suljettu -silmukka stabiloitu) |
|
Ionisäteen virrantiheys |
0 - 2,5 mA/cm^2 |
|
Haihtumislähteet |
Moni-taskuinen E--ase (4 x 15 cc - 6 x 40 cc) / vastusveneet |
|
Alustan pidike |
Planetaarinen pyöritysteline, jossa lämmitys jopa 300 asteeseen |
|
Paksuus Tasaisuus |
<= plus/minus 0.5 percent over 400 mm diameter |
|
Ohjausjärjestelmä |
Siemens S7-1500 PLC + Industrial PC (Inficon-pinnoitusohjain) |
Tärkeimmät ominaisuudet
Dual{0}}Mode pommitukset:Kineettinen energiansiirto tiivistää kalvoja alhaisissa substraattilämpötiloissa ja suojaa herkkää optiikkaa ja polymeerisubstraatteja.
Suljetun{0}}silmukan ionistabilointi:Integroidut massavirtauksen säätimet ylläpitävät tasaisen ionivirran pitkien tuotantoajojen ajan, mikä varmistaa erän tasaisuuden.
Modulaarinen tyhjiökammio:304L ruostumaton teräsrakenne elektro-kiillotettu sisus (Ra<= 0.2 um) and Conflat metal seals.
Automaattinen sekvensointi:PLC-hallittu pumppu-alas-, saostus- ja ilmausjaksot minimoivat toiminnan vaihtelun.
Tyhjiöjärjestelmän konfigurointi
Rouhintapumput:Öljyttömät-kuivajuuret ja pyörivät siipipumput.
Korkeatyhjiöpumppu:Magneettisesti levitoitu turbomolekyylipumppu (1600 l/s).
Mittarit:Yhdistelmä Pirani-, kylmäkatodi- ja Baratron-kapasitanssimanometrit.
Venttiili:Pneumaattiset luisti- ja kulmaventtiilit laitteistoturvalukoilla.
Haihtumismateriaalien ja alustan yhteensopivuus
Oksidit:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, Al2O3
Fluorit:MgF2, LaF3
Metallit:Au, Ag, Al, Ti, Cr
Substraatit:Sulatettu piidioksidi, BK7, piikiekot, germanium, sinkkiselenidi (ZnSe) ja lämmönkestävä polyimidi.
Sovellukset
Tarkkuusoptiikka:Kapeakaistaiset päästösuodattimet ja DWDM-pinnoitteet, jotka vaativat vakaat keskiaallonpituudet.
Laseroptiikka:Korkean-vaurion-kynnyksen heijastimet ja heijastuksenesto-pinnoitteet.
Puolijohde ja fotoniikka:Dielektriset suojakerrokset, passivointi ja optiset aaltoputket.
Aurinkoenergia:Läpinäkyvän johtavan oksidin (TCO) rajapinnan modifikaatio.
Räätälöinti
Kammion koko:Skaalautuvat halkaisijat 600 mm - 1200 mm.
Lähteen asettelu:Jopa kolme e-sädepistoolia ja useita lämpölähteitä alustaa kohden.
In-Situ metrologia:Laajakaistainen optinen valvonta (BOM) tai kvartsikidemikrotasapaino (QCM) -integrointi.
Automaatio:SEMI-standardien mukaiset robottialustan latausliitännät.
Laadunvalvonta
Vuodon havaitseminen:Heliummassaspektrometrin testaus kammiota kohti (herkkyys<= 1 x 10^(-10) Pa*m^3/s).
Komponenttien hankinta:Tier-1 teolliset tuotemerkit (Inficon, MKS, Edwards, Siemens).
Tehdashyväksyntä (FAT):72 tunnin jatkuva kuivaajo ja varmistuspinnoite, joka mittaa taitekertoimen ja tasaisuuden ennen lähettämistä.
Asennus ja tekninen tuki
Dokumentaatio:Täydellinen englanninkielinen paketti, joka sisältää sähkökaaviot, P&ID-kaaviot ja PLC-lähdekoodit.
Kenttäpalvelut:Sovellusinsinöörien suorittama avaimet käteen -asennus, tyhjiökalibrointi ja reseptien viritys.
Etädiagnostiikka:Suojattu VPN-moduuli ohjelmistojen ja prosessien vianmääritykseen.
FAQ
K: Kuinka ioniavustus muuttaa oksidin taitekerrointa?
V: Energinen ionipommitus karkottaa loukkuun jääneet kaasut ja tiivistää mikrorakennetta siirtäen Ta2O5:n ja TiO2:n kaltaisten kalvojen taitekerrointa lähemmäksi bulkkiarvoja.
K: Mikä on ionilähteen tyypillinen huoltoväli?
V: Huoltovälit vaihtelevat 150 - 300 käsittelytunnin välillä prosessikaasujen ja käyttötehotiheyden mukaan.
K: Voiko tämä järjestelmä hallita reaktiivisia kaasuprosesseja?
V: Kyllä. Riippumattomat massavirtauksen säätimet ruiskuttavat reaktiivisia kaasuja (O2, N2) suoraan ionilähde- ja kammioalueille, jotka on lukittu turvapainekytkimillä.
Suositut Tagit: ionisuihkuavusteiset haihdutuslaitteet, Kiina ionisäteavusteisten haihdutuslaitteiden valmistajat, toimittajat, tehdas
