Teolliset PVD-komposiittipinnoituslaitteet on suunniteltu moni-komponentti-, monikerros- ja nano-komposiittiohut-kalvojen valmistukseen. Järjestelmä yhdistää lämpöhaihdutus-, e-säteen haihdutus- ja magnetronisputterointilähteet yhteen tyhjiöympäristöön kalvon koostumuksen, rajapinnan terävyyden ja jäännösjännityksen hallitsemiseksi. Jatkuvaa T&K-toimintaa ja tuotantoa varten rakennetussa arkkitehtuurissa on alhainen peruspaine, modulaarinen lähdekokoonpano ja puhdas ylläpito.
Tekniset tiedot
|
Parametri |
Tekniset tiedot Alue / arvo |
|
Äärimmäinen tyhjiöpaine |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (cryo/turbomolecular configuration) |
|
Pumppu-seisonta-aika |
Ilmakehän paine 6,0 x 10^-4 Pa tuumaa<= 15 minutes (clean, dry, empty chamber) |
|
Alustan pidikkeen koko |
Mukautetut kokoonpanot: jopa halkaisija. 600 mm litteät levyt tai planeettaasteet |
|
Kalvon paksuuden tasaisuus |
< +/- 1.5% across standard working area (verified via in-situ optical monitoring) |
|
Alustan lämpötila-alue |
Ympäristölämpötila 800 asteeseen (PID-ohjattu, kvartsihalogeeni/resistiivinen lämmitys) |
|
Laskeumalähteet |
Monitaskuiset e-sädepistoolit, lämpöveneet ja RF/DC-magnetronikatodit |
|
Kammion materiaali |
304L/316L ruostumaton teräs, sähkö-kiillotetut sisäseinät (Ra<= 0.2 um) |
|
Järjestelmän ohjausliittymä |
PLC + IPC-arkkitehtuuri, automatisoitu reseptien suoritus, SCADA-lokikirjaus |
Tärkeimmät ominaisuudet
Modulaarinen lähdeintegrointi:Kammioportit mahdollistavat samanaikaisen tai peräkkäisen haihdutus- ja sputterointilähteiden käytön ilman ristikontaminaatiota.
Dynaaminen alustan käsittely:Moniakseliset planeetta- tai kääntökäyttömekanismit varmistavat muodonmukaisen pinnoitteen monimutkaisille 3D-alustoille ja syville kaivannoille.
In-In situ -valvontaportit:Esikohdistetut laipat kvartsikidemikrovaakaa (QCM), optista emissiospektroskopiaa (OES) ja laajakaistaista optista valvontaa (BOM) varten.
Korkean-puhtauden tyhjiön eheys:Metalliset -suljetut tiivistyslaipat (CF) laipat, pneumaattiset sulkuventtiilit ja heliummassaspektrometrin vuototestit 1,0 x 10^-10 Pa*m3/s asti.
Automaattinen lukitusturva:Reaaliaikainen anturin palaute-suojaa jäähdytysvesihäiriöltä, paineilmahäviöltä ja yli-lämpötilapoikkeavuuksilta.
Tyhjiöjärjestelmän kokoonpano
Rouhinta- ja juuripumput:Öljyttömät-kuivaruuvipumput yhdistettynä juuripuhaltimiin estävät hiilivetyjen takaisinvirtauksen prosessikammioon.
Korkea{0}}tyhjiöpumput:Magneettisesti levitetyt turbomolekyylipumput tai suljetun -silmukan kryogeeniset heliumpumput, jotka on valittu kaasukuormitustarpeen mukaan.
Paineensäätö:Kapasitanssimanometreihin integroidut kuristusventtiiliohjaimet ylläpitävät vakaata prosessipainetta (0,1 Pa - 10 Pa) reaktiivisten ajojen aikana.
Materiaalien ja alustan yhteensopivuus
Laskeumamateriaalit
Metallit:Ti, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Mo, W, Pt
Oksidit ja eristeet:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Nitridit ja karbidit:TiN, TiAlN, CrN, Si3N4
Alustan materiaalit
Puolijohteet:Piikiekot (100 mm - 300 mm), lasi, kvartsi, safiiri
Metallit ja metalliseokset:Ruostumaton teräs, titaaniseokset, työkaluteräkset, superseokset
Keramiikka ja polymeerit:Alumiinioksidi, zirkoniumoksidi, polyimidikalvot
Sovellukset
Optiset häiriösuodattimet:Monikerroksiset heijastuksenesto-pinnoitteet (AR), kaistanpäästösuodattimet ja korkea-heijastimet lasereille ja antureille.
Kulutusta-kestävät kovat pinnoitteet: Nanokomposiittinitridipinnoitteet (TiAlN/Si3N4) tarkkuusleikkaustyökaluissa ja autojen venttiiliketjuissa.
Mikroelektroniset ohutkalvot:Johtavat sulkukerrokset, siemenkerrokset ja kontaktimetallointipinot puolijohdepakkauksiin.
Toiminnalliset energiakalvot:Läpinäkyvät johtavat oksidit (TCO) ja absorbointikerrokset aurinkosähkö- ja anturilaitteisiin.
Räätälöintiasetukset
Kammion mitat:Skaalattu tilavuus T&K-asteikosta (400 mm kuutio) tuotantomittakaavaan (Halkaisija. 1200 mm sylinterimäinen).
Lähdeporttiasettelut:Mukautettu laipan sijoittelu kolmannen osapuolen{0}}ionilähteiden, plasma-avusteisen kerrostuksen (PAD) tai RF-biasgeneraattoreiden integrointiin.
Lataa{0}}Lukon integrointi:Manuaalinen lataus-lukko, yksi-kiekkolataus-lukko tai moni-kammioklusterityökalukokoonpanot hapettumisen estämiseksi.
Laadunvalvonta ja maailmanlaajuinen vaatimustenmukaisuus
Maailmanlaajuinen sähkö- ja turvallisuusvaatimustenmukaisuus:Ohjauskaapit on rakennettu UL 508A / NFPA 79 (Pohjois-Amerikka), CE (Eurooppa) ja SEMI S2/S8 EHS -standardien mukaisesti.
Tyhjiötestaus:Hitsatut kammiot läpikäyvät heliummassaspektrometrin vuodonilmaisun ennen pinnan viimeistelyä.
Mittatarkastus:Koordinaattimittauskoneella (CMM) lähteen asennustasojen ja alustan toleranssien tarkastus.
Tehdashyväksyntätesti (FAT):72-tunnin jatkuva kuiva-ajotesti, joka tallentaa peruspaineen laskun, pumppauskäyrät ja PLC-vastelokit.
Asennus ja tekninen tuki
Asennusta edeltävä suunnittelu:-Toimitetaan laitoksen vaatimuksia koskevat käsikirjat (apupalvelut, jäähdytysveden virtaus/paine, poistoilmanvaihto, puhdastilan lattian kuormitus).
Käyttöönotto sivustolla-:Kenttähuoltoinsinöörit valvovat takilaa, alipainelinjan kytkentää, sähköliitoksia-ja pumpun-alkutoimia.
Prosessin viritysapu:Asiakkaiden suunnittelutiimien kanssa tehdään yhteistyötä kalvon tasaisuuden ja kerrostumisnopeuden tarkistamiseksi.
Elinkaarituki:Etädiagnostiikkamoduulin integrointi reaaliaikaista{0}}PLC-vianmääritystä varten, jota tukee paikallinen varaosavarasto.
Usein kysytyt kysymykset
K: Mikä on mukautetun järjestelmän läpimenoaika?
V: Vakiokokoonpanot vaativat 16–24 viikkoa piirustuksen hyväksymisestä tehdasvalmiuteen, riippuen tyhjiöpumpun läpimenoajoista.
K: Miten ristikontaminaatiota hallitaan usean-lähteen yhteis-laskeutumisen aikana?
V: Kammioissa on fyysinen suojaus lähteiden välillä, yksittäiset lähdeluukut ja suunnatut kaasunjakorenkaat hiukkasten kulkeutumisen estämiseksi.
K: Voiko tämän laitteen integroida puhdastilatilaan?
V: Kyllä. Järjestelmät tukevat -seinän (-keltainen huone / puhdastila) asennusta, prosessikammion sijoittamista puhdastilan sisälle ja apuvälinetelineiden huoltoon.
K: Mitkä hyödyllisyysvaatimukset on valmisteltava ennen toimitusta?
A: Requirements include 3-phase power (configured to local 480V/380V standards), chilled cooling water (18 deg.C to 22 deg.C, >= 3 bar), paineilma (6 baaria kuiva/suodatettu) ja erillinen rouhintapumpun pakoputki.
Suositut Tagit: pvd-komposiittipinnoituslaitteet, Kiina pvd-komposiittipinnoituslaitteiden valmistajat, toimittajat, tehdas
