Tämä monikaari-ionipinnoitusjärjestelmä hyödyntää katodikaarihaihdutusta tiheiden, erittäin{1}}tarttuvien kovien pinnoitteiden ja toimivien ohuiden kalvojen kerrostamiseen. Iskemällä korkean-virran, matalajännitteisen-kaaren kiinteään katodikohteisiin, materiaali höyrystyy ja ionisoituu välittömästi korkeassa{5}}tyhjiöympäristössä. Yhdessä reaktiivisten kaasujen (N2, O2 tai C2H2) kanssa järjestelmä syntetisoi stoikiometrisiä yhdistepinnoitteita suoraan metallisille tai ei-{11}}metallisille substraateille. Jatkuvaa teollista valmistusta varten suunniteltu arkkitehtuuri varmistaa vakaan kaaren etenemisen, tarkan stoikiometrisen ohjauksen ja toistettavan erästä -eriin kalvon suorituskyvyn.
Tekniset tiedot
|
Parametri |
Tekniset tiedot Alue / arvo |
|
Kammion mitat |
Mukautetut halkaisijat Phi 800 mm:stä Phi 2000 mm:iin (pysty- tai vaaka-asettelu) |
|
Äärimmäinen tyhjiöpaine |
<= 5.0 x 10^-3 Pa (via Roots & Molecular/Diffusion pump combination) |
|
Pumppu-seisonta-aika |
Ilmanpaine 6,0 x 10^-2 Pa tuumaa<= 15 minutes (empty, clean, dry chamber) |
|
Katodikaaren lähteet |
4-16 suorakulmaista tai pyöreää suodatettua/suodattamatonta kaarilähdettä |
|
Bias-virtalähde |
Pulssin esijännite (0 - -1000 V säädettävissä, taajuus 10 - 100 kHz) |
|
Alustan kierto |
Planeetan pyörimismekanismi, jossa on nopeussäätöinen käyttö ja itsenäinen lämmitys |
|
Lämmitysjärjestelmä |
Ruostumaton teräs säteilylämmitin array; maksimilämpötila 600 astetta C (+/- 5 asteen tasaisuus) |
|
Ohjausjärjestelmä |
PLC + teollisuus-PC; automaattinen reseptin suoritus manuaalisella ohituksella |
|
Yhdistetty kuorma |
80 kW - 250 kW (riippuen kammion tilavuudesta ja lähteiden määrästä) |
Tärkeimmät ominaisuudet
Suodatettu katodikaaritekniikka:Varustettu magneettikentän ohjauksella ja makro-hiukkasten (pisaroiden) suodatuskanavilla, jotka poistavat pintavirheet ja antavat erittäin-pehmeän pinnan tarkkuuskomponenteille.
Suljetun -silmukan reaktiivisen kaasun ohjaus:Kokonaispaineeseen ja optiseen emissiopalautteeseen sidotut massavirtausohjaimet (MFC) ylläpitävät vakaat osapaineet reaktiivisen yhdisteen synteesin aikana.
Moniakselinen planetaarinen kiinnityslaite:{0}}Riippumattomat pyörimis- ja kierrosakselit varmistavat tasaisen ionipommituksen ja pinnoitteen paksuuden jakautumisen monimutkaisissa kolmiulotteisissa geometrioissa.
Modulaarinen tyhjiöputkisto:ISO-standardin mukaiset elektro-kiillotetut ruostumattomasta teräksestä valmistetut jakoputket minimoivat kaasun muodostumisen ja yksinkertaistavat rutiinihuoltovälejä.
Erätietojen jäljitettävyys:Automaattinen kammion paineen, substraatin esijännitteen, kaarivirran ja kaasun virtausnopeuksien kirjaaminen kattavaa laaduntarkastusta varten.
Tyhjiöjärjestelmän kokoonpano
Tyhjiöali{0}}järjestelmä on suunniteltu nopeaan kiertoon ja prosessin sivutuotteiden tehokkaaseen käsittelyyn:
Roughing vaihe:Pyörivät siipipumput tai kuivaruuvipumput yhdistettynä Roots-puhaltimiin öljyttömän-karkean tyhjiön synnyttämiseksi.
Korkea tyhjiövaihe:Diffuusiopumput, joissa on nestemäisen typen kylmäluukut tai korkean -suorituskyvyn turbo-molekyylipumput (TMP), jotka on valittu puhdastilavaatimusten ja syklin aikatavoitteiden perusteella.
Venttiilit ja mittarit:Pneumaattiset sulkuventtiilit ja erittäin{0}}luotettavat eristysventtiilit. Täyden -alueen alipainemittaukset käyttämällä Pirani- ja Hot Cathode -ionisaatiomittareita, jotka on integroitu lukitusturva-PLC:hen.
Haihtumismateriaalien ja alustan yhteensopivuus
Haihdutuskatodit
Puhtaat metallit:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl seokset, ruostumaton teräs.
Seokset/yhdisteet:Räätälöidyt sintratut kohteet, jotka on kehitetty erityistä kovuutta, kitkakertoimia ja hapettumisenkestävyyttä varten.
Alustan materiaalit
Työkaluteräkset:Pika-nopeutettu teräs (HSS), volframikarbiditeräkset, kylmä-/kuumatyöstöteräkset.
Tekniset metallit:Titaaniseokset, ruostumaton rakenneteräs, alumiini (kunnollista esikäsittelyä -käyttäen).
Tekninen keramiikka:Valikoitu teollinen keramiikka, joka vaatii johtavan rajapinnan valmistelua.
Sovellukset ja erikoiskäyttötapaukset
Leikkaus- ja muotoilutyökalut
Pinnoitetyypit:TiN, TiAlN, AlTiN, CrN.
Vaikutus suorituskykyyn:Lisää merkittävästi pinnan kovuutta (jopa 3000+ HV), alentaa kitkakertoimia ja vastustaa lämpöhapetusta. Todistettu pidentävän porien, jyrsintäjyrsimien, keittolevyjyrsimien ja meistosuutinten käyttöikää nopeissa -koneistusolosuhteissa.
Autojen komponentit
Sovellukset:Männänrenkaat, hanat, polttoaineen ruiskutusosat ja koristeelliset tai toiminnalliset ulkoverhoilulaitteistot, jotka vaativat kulumisen ja korroosionkestävyyden.
Lääketieteelliset instrumentit
Sovellukset:Bioyhteensopivat TiN- ja TiCN-pinnoitteet kirurgisissa skalpelleissa, luuruuveissa ja hammasimplanteissa parantavat pinnan passivointia ja kulutuskestävyyttä.
Räätälöinti
Järjestelmät on suunniteltu vastaamaan tiettyjä valmistusjalanjälkiä ja prosessiparametreja:
Kammion koko:Mukautetut sisähalkaisijat ja -korkeudet, jotka on räätälöity erän enimmäismittojen ja kiinnityspainojen mukaan.
Lähteen kokoonpano:Valokaarilähteiden ja tasomaisten sputterointikatodien hybridiyhdistelmät monikerros- ja nanokomposiittiarkkitehtuureihin.
Automaatiotaso:Puoliautomatisoidut itsenäiset solut tai täysin integroidut tuotantolinjat, jotka ovat yhteensopivia robottien lastausjärjestelmien kanssa.
Laadunvalvonta
Heliumvuodon testaus:Jokaiselle tyhjiökammiolle tehdään tiukka massaspektrometrivuototestaus ennen tehtaan julkaisua (vuotonopeus<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).
Sähköturvallisuus:Ohjauskaapit on rakennettu CE/UL-standardien mukaisesti täysin lukituilla turvapiireillä.
Tehdashyväksyntätestaus (FAT):Toimitusta edeltävät testit, joilla varmistetaan lopullinen paine, lämmittimen lämpötilan tasaisuus ja jatkuva valokaaren sytytysvakaus jatkuvan 24 tunnin jakson aikana.
Asennus ja tekninen tuki
Sivuston valmisteluohjeet:Kattava apuohjelman asetteludokumentaatio, joka kattaa jäähdytysveden virtausnopeuden/paineen, paineilman, poistoilmanvaihdon ja tehohäviöt.
Käyttöönotto sivustolla-:Kokeneet prosessi- ja mekaaniset insinöörit lähetettiin rakenteiden kohdistusta, tyhjiövuodon todentamista, sähköliittämistä-ja perusreseptin vaihtoa varten.
Kuljettajan koulutus:Käytännön-koulutusta, joka kattaa rutiinihuollon, katodikohteen vaihdon ja PLC-vianmäärityksen.
Etädiagnostiikka:Suojattu VPN-moduulin integrointi reaaliaikaista-ohjelmistopäivitystä, parametrien analysointia ja nopeaa-vastausta varten.
FAQ
K: Mikä on monikaari-ionipinnoituksen ensisijainen etu verrattuna tavanomaiseen magnetronisputterointiin?
V: Katodikaarihaihdutus tarjoaa korkean haihdutetun materiaalin ionisaationopeuden (tyypillisesti 30–80 %), mikä johtaa poikkeukselliseen kalvon tarttumiseen ja korkeisiin kerrostumisnopeuksiin. Se soveltuu ihanteellisesti paksuille, koville keraamisille kulutusta kestäville-pinnoitteille.
K: Kuinka hallitset valokaaren haihtumisen aiheuttamaa makro{0}}hiukkasongelmaa?
V: Käytämme optimoitua magneettikenttäohjausta siirtämään kaaripistettä nopeasti kohdepinnan poikki, yhdistettynä valinnaisiin Filtered Cathode Arc (FCA) -ohjauskanaviin, jotka ohjaavat magneettisesti ionisoitua höyryä ja vangitsevat makro{0}}hiukkasia.
K: Mitkä ovat tämän laitteen asennuksen tilat?
A: Requirements typically include a stable 3-phase power supply, a closed-loop chilled water system (~0.2 to 0.3 MPa, 15 to 20 deg C), compressed air (>= 0.6 MPa) pneumaattisille venttiileille ja ilmanvaihto prosessipoistolle. Erityiset piirustuspaketit toimitetaan tilausvahvistuksen yhteydessä.
K: Voiko tämä järjestelmä käyttää automatisoituja monikerroksisia{0}} tai gradienttipinnoitteita?
V: Kyllä. PLC ja reseptien hallintaohjelmisto mahdollistavat kaasuvirtojen, bias-jännitteiden automaattisen sekvensoinnin ja moni-katodin kiertoajoituksen monimutkaisten moni-kerrosarkkitehtuurien tai gradienttisiirtymäkerrosten tallentamiseksi.
Suositut Tagit: multi-arc ion ohutkalvolaitteet, Kiina multi-arc ion ohutkalvolaitteiden valmistajat, toimittajat, tehdas
