Moni-Arc Ion Thin Film System

Teollinen moni{0}}Arc Ion Thin Film System hyödyntää katodikaarihaihdutusta tiiviiden, erittäin{1}}tarttuvien keraamisten ja metallisten pinnoitteiden kerrostamiseksi metalli- ja metalliseosalustoille. Höyrystämällä kiinteitä katodimateriaaleja tyhjiöympäristössä korkean-virran, matalajännitteisten-sähkökaarien kautta, järjestelmä ionisoi metallihöyryä vuorovaikutuksessa reaktiivisten kaasujen (kuten typen, asetyleenin tai hapen) kanssa muodostaen stoikiometrisiä yhdistekalvoja.

Tämä jatkuvaan tuotantoympäristöön suunniteltu alusta sisältää erityisiä työkalukiinnityksiä tarkkuusleikkaustyökalujen, autojen komponenttien ja kulutusta kestävien teollisuuslaitteistojen eräkäsittelyyn.

Magneettiset{0}}ohjauskaarikatodit:Suljetun-silmukan magneettikentät ohjaavat katodikaaripisteen liikeradan kohteen pinnan poikki, mikä lisää kohteen käyttöastetta yli 60 prosenttiin ja vähentää makro{2}}pisaroiden muodostumista.

Nopea kaaren vaimennusvirhe:Korkean

Dual{0}}Mode Deposition -arkkitehtuuri:Järjestelmäarkkitehtuuri tukee UMS-katodien (Unbalanced Magnetron Sputtering) nopeaa integrointia standardivalokaarilähteiden rinnalle hybridikerrospinnoitusta varten (esim. gradienttikerrokset).

Automatisoitu prosessinohjaus:PLC yhdistettynä teollisuustietokoneeseen, jossa on resepti{0}}pohjainen ohjausohjelmisto, tallennuskammion paine, kaasun massavirtaukset (MFC), substraatin esijännitys ja kaarivirta reaaliajassa erän jäljitettävyyttä varten.

Pneumaattinen tyhjiöventtiili:Pneumaattisesti toimivat sulkuventtiilit ja kulmaventtiilit eristävät kammion osat minimoiden huoltoseisokkien ja pumpun -alasjaksot.

Järjestelmän evakuointi käyttää monivaiheista{0}}kokoonpanoa, joka on suunniteltu saavuttamaan käyttöpaine 15 minuutissa:

Roughing vaihe:Kaksivaiheiset pyöriväsiipipumput poistavat ilmakehän primääriilman 10 Pa:iin asti.

Välivaihe:Roots-puhaltimet kiihdyttävät tilavuussiirtymää ylittääkseen ylipainealueen.

Korkea tyhjiövaihe:Öljydiffuusiopumput tai kryogeeniset/molekyylipumput saavuttavat lopullisen peruspaineen 5,0 x 10^-3 Pa ennen kaasun täyttöä ja ionipuhdistusta.

Kaasuntoimituksen alajärjestelmä:Monikanavaiset massavirtaussäätimet (MFC) mittaavat korkean-puhtausluokan prosessikaasuja (Ar, N2, C2H2, O2), joiden virtauksen stabiilisuustoleranssi on +/- 1 % Full Scale.

Katodikohteet
Metalliset tavoitteet:Ti, Cr, Al, Zr, TiAl (50/50, 67/33 atomisuhteet), WC, ruostumaton teräs.

Puhtausstandardi:>= 99.99% tyhjiö sulatettu ja valssattu.

Alustan materiaalit
Työkaluteräkset:H13, SKD11, M2, D2 (esikäsitelty ja karkaistu pinnoitteen pinnoituslämpötilan alapuolella).

Karbidit:Sementoidut volframikarbidit (WC{0}}Co).

Tekniset seokset:Titaaniseokset (TC4), ruostumaton teräs (304/316) ja kuparilejeeringit (kiinnitysriippuvainen).

Tarkkuusleikkaustyökalut:TiAlN- ja AlCrN-pinnoitteiden levittäminen kovametallipäätyjyrsimiin ja -levyihin saavuttaa pinnan kovuuden 3300 - 3500 HV. Kentän validointitiedot osoittavat, että työkalun kulumisikä pidentyy 2,5-kertaisesti nopeassa-kuivatyöstöolosuhteissa.

Muotit ja meistit:H13- ja SKD11-muovisten ruiskumuottien ja puristusmuottien pintakarkaisu lämpöväsymisen, liiman kulumisen ja ruiskeen estämiseksi.

Auton osat:Matala-kitka, kulutusta-kestävä DLC (Diamond-Like Carbon)- ja CrN-pinnoitteet, jotka on levitetty männänrenkaisiin, polttoainesuuttimen tappeihin ja venttiilinnostimiin rajakitkakertoimien vähentämiseksi alle 0,1:n.

Toiminnallinen laitteisto:Koristeelliset mutta kovaa kulutusta kestävät-viimeistelyt (TiCN, ZrN) teollisuuden saniteettikalusteisiin ja korkealuokkaisiin-mekaanisiin komponentteihin.

Tekniset kokoonpanot mukautuvat laitoksen rajoituksiin ja komponenttien geometriaan:

Kammion geometria:Pystysuora{0}}kuormaustyyppi tai vaakasuuntainen etu{1}}kuormausovikokoonpano.

Jigging-kalusteet:Planetaariset, yksi{0}rotaatio tai mukautetut satelliittivalaisimet, jotka on räätälöity monimutkaisiin 3D-työkappaleen geometrioihin.

Pumppauspinon valinta:Öljydiffuusio-, turbomolekyyli- tai kryopumppupakettien konfigurointivaihtoehdot puhdastilastandardien ja pumppu{0}}seisonta-aikatavoitteiden mukaan.

Kaasun ja sähkön integrointi:Räätälöidyt sähkömuuntajat alueellisiin verkkostandardeihin (esim. 480V/60Hz, 415V/50Hz) ja integrointi asiakkaan -keskitettyihin pakokaasujen pesujärjestelmiin.

Jokaiselle levitysjärjestelmälle tehdään tiukka laatutarkastus ennen lähettämistä:

Heliumvuodon tunnistus:Massaspektrometrin heliumvuototestaus suoritettu kaikille tyhjiökammioille ja hitsaussaumoille (vuotonopeus<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Sähköturvallisuuden tarkastus:Eristysresistanssi, maadoituksen jatkuvuus ja korkean{0}}jännitteen eristeiden kestotestit CE/IEC-sähköstandardien mukaisesti.

Toiminnallinen kuivakäynti:Mekaanisten pyörimismekanismien, pneumaattisten venttiilien ja jäähdytysveden lukitusanturien 72 tunnin jatkuva kuivakierto.

Prosessin hyväksyntätesti:Näytepäällystysajo suoritettiin valmistuslaitoksessa kalvon paksuuden tasaisuuden, kovuuden ja tarttuvuuden tarkistamiseksi (naarmutesti / Rockwell-sisällys).

Sivuston valmisteluohjeet:Kattava laitoksen asetteludokumentaatio, joka sisältää yksityiskohtaiset tiedot lattian kuormitusvaatimuksista, poistoputkien sijainnista, vesisarjan mitoista ja sähköisistä laskupisteistä, jotka toimitetaan 4 viikkoa ennen toimitusta.

Käyttöönotto:Kenttähuoltoinsinöörien-asennus, tyhjiökalibrointi ja sähköliittäminen-työmaalla.

Prosessireseptin luovutus:Peruspinnoitusreseptit (TiN, TiAlN) on kehitetty, testattu ja siirretty tehdashyväksynnän tai{0}}työmaalla käyttöönoton aikana.

Varaosat ja diagnostiikka:PLC:hen integroitu etädiagnostiikkamoduuli nopeaa vianmääritystä varten, jota tukee kriittisten tiivisteiden, katodikohteiden ja suojalevyjen paikallinen varastointi.