Teollinen moni-kaari-ionipinnoitusjärjestelmä tuottaa tiheitä, korkean-adheesion omaavia ohuita kalvoja korkean-virran, matalajännitteisen-katodisen kaaren haihdutuksen avulla. Kiinteät kohdemateriaalit (katodit) höyrystetään reaktiivisessa kaasuatmosfäärissä (kuten N2, O2 tai C2H2) stoikiometristen yhdistepinnoitteiden syntetisoimiseksi. Tämä laite on suunniteltu korkealle, yli 80 %:n ionisaationopeudelle, ja se tuottaa poikkeuksellisen kalvon-substraatin-sidontalujuuden, joka sopii äärimmäiseen mekaaniseen kuormitukseen.
Tekniset tiedot
|
Parametri |
Erittely |
|
Kammion mitat |
Mukautetut kokoonpanot Phi 800 x 1000 mm - Phi 1500 x 2200 mm |
|
Kammion materiaali |
SUS304 / SUS316L ruostumaton teräs, kaksinkertainen-seinämäinen-vesijäähdytteinen takki |
|
Äärimmäinen tyhjiöpaine |
<= 5.0 x 10^-4 Pa |
|
Pumppu-seisonta-aika |
Ilmakehä 6,0 x 10^-3 Pa tuumaa<= 15 minutes (clean, empty chamber) |
|
Valokaarivirtalähde |
DC- ja pulssikaaritehoyksiköt (0-200A säädettävä, aaltoilu<= 1%) |
|
Bias-virtalähde |
Korkean |
|
Haihtumislähteet |
4-18 katodikaarilähdettä (suodatettava tai tavallinen magneettiohjaus) |
|
Alustan kierto |
Planeetan moni-akselikierto, jota ohjaa magneettinen nesteen läpivienti |
Tärkeimmät ominaisuudet
Magneettinen suodatettu kaaritekniikka:Integroidut magneettikelat taivuttavat makro{0}}hiukkaset ja pisarat pois substraattivirrasta ja muodostavat erittäin-tasaiset pisarattomat{2}pinnat tarkkuusoptiikalle ja leikkaustyökaluille.
Suljetun-silmukan kaasuvirtauksen säätö:MKS-massavirtauksen säätimet säätelevät reaktiivisen kaasun osapainetta +/- 0.1 sccm:n stabiilisuuskynnysten sisällä reaktiivisten pinnoitusvaiheiden aikana.
Alustan lämpötilan hallinta:Ohjelmoitavat säteilylämmitinpankit yhdistettynä taustapuolen argonkaasujäähdytykseen pitävät substraatin lämpöbudjetin välillä 150-600 C.
Automaattiset prosessireseptit:PLC{0}}pohjainen ohjausarkkitehtuuri, joka suorittaa moni-vaiheisen pinnoitusprotokollia ionipuhdistuksesta, gradienttikerrosten välisetsauksesta päätteen toiminnalliseen pinnoitukseen.
Tyhjiöjärjestelmän kokoonpano
Rouhintapumppu:Roots-puhaltimen ja pyörivän siiven mekaaninen pumppuyhdistelmä (Leybold / Edwards-perusviiva).
Korkeatyhjiöpumppu:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).
Arviointi ja putket:Pneumaattiset ruostumattomat{0}}teräksiset tyhjiösulkuventtiilit, pneumaattiset kulmaventtiilit ja elastomeeri-tiivistetyt KF/ISO-laipat vuotavat-heliummassaspektrometrialla (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).
Paineen seuranta:Yhdistetyt Pirani- ja Cold Cathode -ionisaatiomittarit antavat reaaliaikaista palautetta{0}}ilmakehästä erittäin-korkeille tyhjiöalueille.
Haihtumismateriaalien ja alustan yhteensopivuus
Kohdemateriaalit:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).
Alustan materiaalit:
- Sementoidut karbidit (WC{0}}Co)
- High Speed Steels (HSS)
- Seosteräkset (SKD11, 316L, 4140)
- Titaaniseokset (Ti-6Al-4V)
- Tekninen keramiikka ja{0}}lämmönkestävät superseokset
Sovellukset
Leikkaus- ja muotoilutyökalut:TiAlN-, AlCrN- ja TiCN-pinnoitteiden levittäminen päätyjyrsimiin, teriin, keittolevyihin ja meistosuulakkeisiin nostaa pinnan kovuus arvoon 3200 HV ja estää hankausta kulumista.
Auton osat:Kovahiili (DLC) ja CrN-kerrostus männänrenkaissa, polttoaineen ruiskutusnastoissa ja nokka-akseleissa kitkakertoimien pienentämiseksi alle 0,1:n kuivissa käyttöolosuhteissa.
Lääketieteelliset implantit:Biologisesti yhteensopivat TiN- ja ZrN-diffuusiopinnoitteet koboltti-kromi- ja titaanipolvi- ja lonkkanivelissä minimoivat metalli-ionien huuhtoutumisen ja kulumisjätteen muodostumisen.
Ilmailulaitteisto:Hapettumista{0}}kestävät sulkupinnoitteet turbiinien siipille ja kiinnitinkokoonpanoille, jotka toimivat korkeilla lämpökynnyksillä.
Räätälöinti
Kammion geometria:Pystysuora kuoppa-tyyppi, vaakasuora etu-kuormaus tai kaksinkertainen-oven läpikulku-kokoonpanot, jotka on räätälöity olemassa oleviin myymälän-lattia-asetelmiin.
Lähteen integrointi:Hybridikokoonpanot, jotka yhdistävät katodikaarilähteet epäsymmetrisiin magnetronisputterointikatodeihin (Ums) yhdessä kammiossa.
Jigging & Fixtures:CAD/FEM-simulaatiolla suunnitellut planetaariset tai kaksinkertaiset -pyörivät työkalut tiettyjä komponenttigeometrioita varten (esim. pitkät suulakepuristussuuttimet tai monimutkaiset kirurgiset ruuvit).
Laadunvalvonta ja valmistuksen vaatimustenmukaisuus
Laadunhallintastandardit:Suunniteltu, valmistettu ja testattu ISO 9001:2015 -laatu- ja ISO 14001 -ympäristöjärjestelmien mukaisesti.
Ilmailu- ja lääketieteellinen jäljitettävyys:Prosessin ohjaimet ja dokumentaatioprotokollat ovat täysin yhdenmukaisia NADCAP AC7102 (Heat Treating/Surface Enhancement) -vaatimusten kanssa pyynnöstä.
Vuodon eheys:Jokaiselle tyhjiöastialle tehdään heliummassaspektrometrin vuototesti ennen kokoonpanon allekirjoittamista-.
Sähköturvallisuus:Korkea{0}}jännitteen eristysvastuksen testaus ja maadoituksen jatkuvuustarkistukset CE/IEC-standardien mukaisesti.
Suorita{0}}testaus:72-tunnin jatkuva kuivaajo-kestävyystestaus mekaanisille pyörimiskäytöille, vesijäähdytysvirtauskytkimille ja PLC-lukitusjärjestelmille.
Toimitettavat asiakirjat:Materiaalitehtaan testitodistukset (MTC), tyhjiövuototestitodistukset, sähkökaaviopaketit ja NIST{0}}jäljitettävät anturin kalibrointiraportit.
Asennus ja tekninen tuki
Sivuston valmisteluohjeet:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 m^3/h), ympäristön lämpötila-alueet, poistoilmanvaihto ja sähkötehon lasku (3-vaiheinen, 380V/480V, 50/60Hz).
Käyttöönottopalvelut:Paikan päällä-mekaaninen paikannus, tyhjiöputkien integrointi, sähköliitännät ja perusreseptien optimointi, jonka suorittavat paikalliset huoltoinsinöörit.
Kuljettajan koulutus:5-päivän intensiivinen koulutus paikan päällä, jossa käsitellään rutiinihuoltoa, tyhjiön vianetsintää, kohteen vaihtoprotokollia ja parametrien viritystä tiettyjä filmirakenteita varten.
Varaosavarasto:Kriittiset kuluvat komponentit (katodieristeet, pimeän tilan suojukset, dynaamiset tiivisteet ja filamenttiryhmät) on varastoitu alueittain lähetettäväksi 48 tunnin sisällä.
FAQ
K: Miten kalvon paksuuden tasaisuus säilyy monimutkaisilla 3D-substraateilla?
V: Tasaisuus saavutetaan moni-akselisten planeettojen pyörimiskiinnikkeiden avulla yhdistettynä tietokoneistettuihin magneettisiin ohjauskäämiin, jotka säätävät dynaamisesti ioniplasman tiheyden jakautumista substraattivyöhykkeellä pitäen paksuuden vaihtelun +/- 5 % sisällä.
K: Mikä estää makro{0}}pisaroiden muodostumisen päällystetylle pinnalle?
V: Makro{0}}pisaroiden muodostuminen estetään suodatetun katodikaaritekniikan (FCA) avulla, jossa käytetään kaarevia magneettisia kanavasuodattimia, jotka vangitsevat kiinteät hiukkaset ja sallivat ionisoituneen höyryn päästä substraattiin.
K: Mitä apuinfrastruktuuria sivustolta vaaditaan-?
A: Facilities require a closed-loop chilled water system (capacity >= 80 kW, tulolämpötila 18–22 C), paineilman syöttö (0,6–0,8 MPa pneumaattisille venttiileille), kuivan typen tyhjennyslinjat ja erillinen sähkönjakelu, joka vastaa järjestelmän kuormitusvaatimuksia.
K: Voiko tämä järjestelmä levittää monikerroksisia tai gradienttipinnoitteita?
V: Kyllä. PLC-arkkitehtuuri mahdollistaa useiden kohdemateriaalien peräkkäisen aktivoinnin ja reaktiivisten kaasuvirtojen reaaliaikaisen-säädön nano-kerrosrakenteiden tai toiminnallisten gradienttivälikerrosten kerrostamiseksi.
Suositut Tagit: multi-kaariionipinnoituslaitteet, Kiina multi-kaariionipinnoituslaitteiden valmistajat, toimittajat, tehdas
